Rasterelektronenmikroskopie

Rasterelektronenmikroskopie

- Die Abbildung entsteht im Elektronenmikroskop (EM) durch die Wechselwirkung von Elektronen mit dem Objekt.
- Beim Rasterelektronenmikroskop (REM) wird der Elektronenstrahl dabei über das abzubildende Objekt gerastert.
- Charakteristisch sind Abbildungen von Oberflächen mit hoher Schärfentiefe.
- Übliche Auflösungen: 1-30nm (je nach Instrument). Das Limit liegt derzeit bei ca. 0.4 nm.
- Übliche Vergrößerungen: 10 - 300.000x

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  • Typische Optionen:
    - Detektion von Rückstreuelektronen oder Sekundärelektronen
    - Chemische Elementanalyse mittels EDX (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)

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