- Die Abbildung entsteht im Elektronenmikroskop (EM) durch die Wechselwirkung von Elektronen mit dem Objekt.
- Beim Rasterelektronenmikroskop (REM) wird der Elektronenstrahl dabei über das abzubildende Objekt gerastert.
- Charakteristisch sind Abbildungen von Oberflächen mit hoher Schärfentiefe.
- Übliche Auflösungen: 1-30nm (je nach Instrument). Das Limit liegt derzeit bei ca. 0.4 nm.
- Übliche Vergrößerungen: 10 - 300.000x
Typische Optionen:
- Detektion von Rückstreuelektronen oder Sekundärelektronen
- Chemische Elementanalyse mittels EDX (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)